Σταθμοί εργασίας
Δύο σταθμοί μη-γραμμικής λιθογραφίας
- Σταθμός I: με γαλβανομετρικούς σαρωτές για υψηλής ταχύτητας (μέχρι 5mm/s) τρισδιάστατη εκτύπωση
- Σταθμός II: με πιεζοηλεκτρικούς σαρωτές, για μέγιστη ακρίβεια και ανάλυση (<100nm)
Επιπρόσθετα στους χρήστες παρέχεται η δυνατότητα διάθεσης resist κατασκευασμένων κατά παραγγελία με πολυφωτονική λιθογραφία
